Principe de fonctionnement
Permet le dépôt des couches minces en utilisant trois sources d’évaporation simultanemment. L’évaporation couvre des métaux comme : Al, Ag, In, Cr, Pt, Au ainsi que d’autres oxydes métalliques
Trois sources d’évaporation Evapoartion des métaux comme Al, Ag, In, Cr, Pt, Au et d’autres oxydes métalliques.
