Background

équipements

Four CVD du type MTI corporation

Principe de fonctionnement
Permet les traitements thermiques à des atmosphères de gaz contrôlées. Température de fonctionnement jusqu’à 1100°C avec une unité de gestion de deux gaz. Le système assure des recuits sous vide à des préssion allant jusqu’à 10-5 torr et sous mélange de deux gaz.

Température de fonctionnement jusqu’à 1100°C avec une unité de gestion de deux gaz. Recuits sous vide à 10-5 torr et sous mélange de gaz.